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方案概況
光伏硅晶片是由硅材料加工而生的一種圓片，是生產光伏太陽能的一種必須材料，其多晶硅、太陽能電池生產制造大部分需在凈化車間內進行。根據不同工藝區(qū)間，會設置不同凈化等級的凈化車間，區(qū)分為核心部分為千級、一般為萬級、十萬級。不同凈化隔間的各工序必須制訂嚴格的工藝要求和工藝參數。
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